公元1世紀，亞歷山大的希羅記述的利用蒸汽反作用力而旋轉的汽轉球，又稱為風神輪，是最早的反動式汽輪機的雛形。1629年，意大利的Gde布蘭卡提出由一股蒸汽沖擊葉片而旋轉的轉輪。1882年，瑞典的C.G.Pde拉瓦爾制成第一臺5馬力（3.67千瓦）的單級沖動式汽輪機。1884年，英國的C.A.帕森斯制成第一臺10馬力（7.35千瓦）的單級反動式汽輪機。1910年，瑞典的B.& F.容克斯川兄弟制成輻流的反動式汽輪機。

19世紀末，瑞典拉瓦爾和英國帕森斯分別創制了實用的汽輪機。拉瓦爾于1882年制成了第一臺5馬力（3.67千瓦）的單級沖動式汽輪機，并解決了有關的噴嘴設計和強度設計問題。單級沖動式汽輪機功率很小，已很少采用。

20世紀初，法國拉托和瑞士佐萊分別制造了多級沖動式汽輪機。多級結構為增大汽輪機功率開拓了道路，已被廣泛采用，機組功率不斷增大。帕森斯在1884年取得英國專利，制成了第一臺10馬力的多級反動式汽輪機，這臺汽輪機的功率和效率在當時都占領先地位。

20世紀初，美國的柯蒂斯制成多個速度級的汽輪機，每個速度級一般有兩列動葉，在第一列動葉后在汽缸上裝有導向葉片，將氣流導向第二列動葉。速度級的汽輪機只用于小型的汽輪機上，主要驅動泵、鼓風機等，也常用作中小型多級汽輪機的第一級。